Object
Title: Warstwy dielektryczne tlenowęglika krzemu (a-SiOC:H) wytwarzane z prekursorów krzemoorganicznych metodą CVD inicjowaną atomowym wodorem
Publisher:
Place of publication:
Language:
Identifier:
392/Pr ; oai:cybra.lodz.pl:27881
Digitization:
Location of original:
Object collections:
- CYBRA Lodz Regional Digital Library > Centre of Molecular and Macromolecular Studies Polish Academy of Sciences
Last modified:
May 7, 2025
In our library since:
May 7, 2025
Number of object content hits:
0
All available object's versions:
https://cybra.lodz.pl/publication/31456
