@misc{Walkiewicz-Pietrzykowska_Agnieszka._Wytwarzanie, author={Walkiewicz-Pietrzykowska, Agnieszka.}, howpublished={online}, publisher={nakł. autora}, language={pol}, type={rozprawa doktorska CBMiM PAN}, title={Wytwarzanie materiałów cienkowarstwowych ze związków krzemoorganicznych w procesie chemicznego nanoszenia z fazy gazowej (CVD) inicjowanym reaktywnymi atomami}, }