TY - GEN A1 - Walkiewicz-Pietrzykowska, Agnieszka. PB - nakł. autora L2 - http://cybra.lodz.pl/Content/11447 T1 - Wytwarzanie materiałów cienkowarstwowych ze związków krzemoorganicznych w procesie chemicznego nanoszenia z fazy gazowej (CVD) inicjowanym reaktywnymi atomami UR - http://cybra.lodz.pl/dlibra/docmetadata?id=11447 ER -