@misc{Głębocki_Bartosz._Otrzymywanie,
 author={Głębocki, Bartosz.},
 howpublished={online},
 publisher={nakł. autora},
 language={pol},
 type={rozprawa doktorska CBMiM PAN},
 title={Otrzymywanie i chemiczna modyfikacja powierzchni cienkich warstw krzemowych wytwarzanych z prekursorów krzemoorganicznych w selektywnym procesie CVD},
}